沈阳恒进真空科技有限公司
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用于碳碳复合材料、石墨软毡、石墨硬毡的高温石墨化处理或其他产品的高温烧结处理。高温纯化炉是将石墨制品、石墨软毡、石墨硬毡或SiC粉体等通过高温焙烧和工艺气体定向流动，经过物理扩散、化学反应使杂质元素从基体中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金属含量降到PPB数量级，从而达到半导体晶体生长对石墨品质（或粉体原料）要求的工艺过程。
采用恒进专属超高温、大电流引电技术，能在2400℃条件下长时间稳定使用。
规格 | 温区尺寸（mm） | 最高温度（℃） | 压升率（Pa/h） | 极限真空度（Pa） |
RVSG-1316H | φ1300*1600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-3126H | φ3100*2600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-202048 | 2000*2000*4800 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-151520 | 1500*1500*2000 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
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